X射線能譜法\"EDS\"是用于樣品分析和表征的分析技術(shù)。通常通過配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用,是用來對材料微區(qū)成分元素種類與含量進(jìn)行分析:利用電子束與物質(zhì)作用時(shí)產(chǎn)生的特征X射線,來提供樣品化學(xué)組成方面的信息,可定性、半定量檢測大部分元素(Be4-PU94),可進(jìn)行表面污染物的分析。
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