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X射線能譜法"EDS"是用于樣品分析和表征的分析技術(shù)。通常通過配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用，是用來對(duì)材料微區(qū)成分元素種類與含量進(jìn)行分析：利用電子束與物質(zhì)作用時(shí)產(chǎn)生的特征X射線，來提供樣品化學(xué)組成方面的信息，可定性、半定量檢測大部分元素（Be4-PU94），可進(jìn)行表面污染物的分析。
在現(xiàn)代的掃描電鏡和透射電鏡中，能譜儀（EDS）是一個(gè)重要的附件，它同主機(jī)共用一套光學(xué)系統(tǒng)，可對(duì)材料中感興趣的部位的化學(xué)成分進(jìn)行點(diǎn)分析、面分析、線分析。
（1）分析速度快，效率高，能同時(shí)對(duì)原子序數(shù)在11—92之間的所有元素（甚至C、N、O等超輕元素）進(jìn)行快速定性、定量分析；
（2）穩(wěn)定性好，重復(fù)性好；
（3）能用于粗糙表面的成分分析（斷口等）；
（4）能對(duì)材料中的成分偏析進(jìn)行測量，等等。?
探頭接受特征X射線信號(hào)→把特征X射線光信號(hào)轉(zhuǎn)變成具有不同高度的電脈沖信號(hào)→放大器放大信號(hào)→多道脈沖分析器把代表不同能量（波長）X射線的脈沖信號(hào)按高度編入不同頻道→在熒光屏上顯示譜線→利用計(jì)算機(jī)進(jìn)行定性和定量計(jì)算。?
1、探測頭：把X射線光子信號(hào)轉(zhuǎn)換成電脈沖信號(hào)，脈沖高度與X射線光子的能量成正比。?
2、放大器：放大電脈沖信號(hào)。?
3、多道脈沖高度分析器：把脈沖按高度不同編入不同頻道，也就是說，把不同的特征X射線按能量不同進(jìn)行區(qū)分。?
4、信號(hào)處理和顯示系統(tǒng)：鑒別譜、定性、定量計(jì)算；記錄分析結(jié)果。
1、定性分析：EDS的譜圖中譜峰代表樣品中存在的元素。定性分析是分析未知樣品的第一步，即鑒別所含的元素。如果不能正確地鑒別元素的種類，最后定量分析的精度就毫無意義。通常能夠可靠地鑒別出一個(gè)樣品的主要成分，但對(duì)于確定次要或微量元素，只有認(rèn)真地處理譜線干擾、失真和每個(gè)元素的譜線系等問題，才能做到準(zhǔn)確無誤。定性分析又分為自動(dòng)定性分析和手動(dòng)定性分析，其中自動(dòng)定性分析是根據(jù)能量位置來確定峰位，直接單擊“操作/定性分析”按鈕，即可在譜的每個(gè)峰位置顯示出相應(yīng)的元素符號(hào)。自動(dòng)定性分析識(shí)別速度快，但由于譜峰重疊干擾嚴(yán)重，會(huì)產(chǎn)生一定的誤差。?
2、定量分析：定量分析是通過X射線強(qiáng)度來獲取組成樣品材料的各種元素的濃度。根據(jù)實(shí)際情況，人們尋求并提出了測量未知樣品和標(biāo)樣的強(qiáng)度比方法，再把強(qiáng)度比經(jīng)過定量修正換算成濃度比。最廣泛使用的一種定量修正技術(shù)是ZAF修正。?
3、元素的面分布分析：在多數(shù)情況下是將電子束只打到試樣的某一點(diǎn)上，得到這一點(diǎn)的X射線譜和成分含量，稱為點(diǎn)分析方法。在近代的新型SEM中，大多可以獲得樣品某一區(qū)域的不同成分分布狀態(tài)，即：用掃描觀察裝置，使電子束在試樣上做二維掃描，測量其特征X射線的強(qiáng)度，使與這個(gè)強(qiáng)度對(duì)應(yīng)的亮度變化與掃描信號(hào)同步在陰極射線管CRT上顯示出來，就得到特征X射線強(qiáng)度的二維分布的像。這種分析方法稱為元素的面分布分析方法，它是一種測量元素二維分布非常方便的方法。
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